最大測(cè)量長(zhǎng)度：≦150mm
最大測(cè)量偏心量：≦3mm
最大測(cè)量直徑：≦Φ25mm
偏心量重復(fù)精度：≦0.3μm
偏心角度重復(fù)精度：≦0.015°
圓度重復(fù)精度：≦0.2μm
直徑重復(fù)精度：≦1.2μm

        機(jī)臺(tái)采用雙尖方式，半徑測(cè)量法。以圓周轉(zhuǎn)角圓光柵傳感器同步觸發(fā)采集多組傳感器的信號(hào)，同步采集零件零位、偏心輪1、偏心輪2的半徑變化量。經(jīng)預(yù)處理、濾波等算法處理，測(cè)量出零件的偏心量、相對(duì)偏角度、圓度、直徑等參數(shù)。

偏心量、偏心角度、圓度、直徑。